1.烘烤制程设备:电热鼓风干燥箱、精密鼓风烤箱/充氮鼓风烘箱、水冷无氧烤箱/水冷精密烤箱、无尘烤箱/洁净烘箱、自动开门烤箱、高真空烤箱、全自动真空除气炉； 2.半导体设备：HMDS预处理系统/HMDS涂胶机，高温无氧烤箱/高温无氧固化炉/真空高温无氧烤箱/真空高温无氧固化炉、全自动立式炉（PIQ ）、全自动立式氧化炉、全自动扩散炉、全自动退火炉、全自动LPCVD炉、全自动合金炉、全自动甲酸真空回流焊炉、全自动真空无氧气烤箱、全自动真空压力烤箱、全自动SIC覆膜炉、全自动热板机等； 3.可靠性试验设备:可程式恒温恒湿试验箱、高温试验箱、冷热冲击试验箱、可程式高低温试验箱； 4.热处理设备：干燥网带炉、回流焊炉、气氛控制网带炉（气氛烧结炉/气氛熔封炉/厚膜烧结网带炉）； 5.存储设备:防潮柜、氮气柜、电脑式无尘氮气柜。